MachSensing®智慧牙叉
在智慧觸覺系統的應用上，我們將感測片鑲嵌在最接近晶圓的地方，藉由精密的感測技術時時反饋晶圓運輸過程中非常微小的力量，並透過軟體警示即時修正偏位。我們的觸覺感測精度勝於市面上振動感測技術的牙叉，能夠大幅減少碰撞或移動時對晶圓的損壞，確保晶圓能順利進入每段製程，從而提高了產品的良率，減少了廢品的產生，達到減少碳排放的目標。
MachSensing®智慧牙叉
馬森科技自主研發的智慧牙叉，採用精密陶瓷製成，經過精密開槽處理並搭載感測元件，可透過無線通訊技術即時傳輸數據。其獨特優勢在於高靈敏度力量感測，即便是輕微接觸或晶圓偏位，皆能迅速監測，並即時預警以防止晶圓損壞，提升生產穩定性與精度。
Product feature
產品特點
結構健康監控（SHM）
可用於監測牙叉機構疲勞累積與異常變形，支援預測性維護。
數據可視化
提供搬運過程受力曲線與歷程紀錄，有助製程問題溯源與SOP標準化，進一步改善製程與維護策略。
高靈敏度力學監測
可偵測晶圓載具在上下料過程中極微小彎曲、偏載或過壓狀況，即時預防晶圓損壞，提升生產穩定性與精度。
Introduction
介紹說明
主要功能
MachSensing® 智慧牙叉是馬森科技自主研發的產品，專為半導體晶圓輸送而設計。採用精密陶瓷製成，搭載高靈敏度觸覺感測技術，能即時監控晶圓運輸過程中的微小力量變化，確保晶圓安全運輸，大幅提升生產率。
- 即時異常警示
偵測晶圓輕微碰撞、偏位或過壓狀況，自動區分正常移動與異常擦撞，透過軟體立即發出預警訊號，防止晶圓破片與隱裂。
- 精準對位監控
監控晶圓上下料過程中的極微小彎曲與載具偏移，確保晶圓準確定位到指定位置，避免因定位不準造成的設備損壞。
- 數據可視化分析
提供完整搬運過程受力曲線與歷程記錄，支援製程問題溯源分析、SOP標準化建立，以及搬運行為完整履歷追蹤。
- 預測性維護
持續監測牙叉機構疲勞累積與異常變形狀況，提供設備健康監控（SHM），支援預防保養排程，延長設備使用壽命。
